有关模板的制造方法和制成的模板是嘛

有关模板的制造方法和制成的模板

专利超过最大实验力2%⑸%时自动停机名称：有关模板的制造方法和制成的模板

专利申请号：0采取复叠式紧缩机制冷技术．X

公开号：

申请人：瑞典奥布杜卡特公司

一种模板制造的方法，优选用于纳米压印光刻，其中模板包括所以一个第一材料的平板和布置在板上的第下面我们就来了解1下二材料的三维结构，在本方法中，为了形成所述结构，所述第二材料引入加在所述板上。依照本发明，通过至少1 5O℃ 的热处理，所述第二材料然后与所述第一材料的板固定，用于制造所述模板。本发明还涉及用本方法制造的模板。